Тег: B-EUV
Заглянуть за High-NA EUV: перспективы литографии B-EUV
Разбор перспектив развития фотолитографии: почему TSMC откладывает High-NA EUV, что собой представляет заэкстремальный ультрафиолет (B-EUV) с длиной волны 6,7 нм и какие технологические преграды стоят на пути создания чипов будущего.
