Тег: ЗНТЦ
Зеленоградский нанотехнологический центр разработал прототип литографической установки 130 нм
Зеленоградский нанотехнологический центр завершил третий этап разработки литографической установки для 130-нм техпроцесса. Серийное производство чипов на ней ожидается к 2029 году.
В России создали электронно-лучевой литограф для печати чипов эпохи Pentium 4
ЗНТЦ разработал отечественную установку электронно-лучевой литографии с нормами 150 нм для выпуска фотошаблонов и мелкосерийного производства спецчипов.
