Зеленоградский нанотехнологический центр (ЗНТЦ) разработал установку электронно-лучевой литографии (ЭЛЛ), предназначенную для выпуска фотошаблонов и прямого нанесения рисунка на подложки без применения масок по нормам 150 нм, сообщает CNews. Информация о проекте появилась в закупочных документах, согласно которым центр подыскивает подрядчика для транспортировки «опытного образца установки электронно-лучевой литографии с проектными нормами 150 нм» в рамках опытно-конструкторских работ «Прогресс ЭЛЛ 150».
Источник: https://3dnews.ru
