Китай перешел к этапу серийного производства собственных иммерсионных DUV-литографов. Это оборудование критически важно для выпуска современных полупроводников, и первые экземпляры должны поступить крупнейшим китайским компаниям — SMIC, Hua Hong Semiconductor и ChangXin Memory Technologies (CXMT) — уже в текущем году.
По информации издания The Information, планы по наращиванию выпуска выглядят амбициозно: в 2026 году планируется произвести около пяти таких машин, а к 2027 году объемы должны вырасти до двадцати единиц.
Кто стоит за разработкой
Название компании-производителя официально не разглашается, однако отраслевые источники связывают проект с деятельностью нескольких китайских предприятий, среди которых упоминается государственный стартап Shanghai Yuliangsheng Technology. Известно, что прототип литографа проходит проверку на мощностях SMIC еще с сентября 2025 года.
Большая часть комплектующих производится внутри КНР, однако для ряда критически важных узлов все еще требуется импорт из Японии. Именно зависимость от японских поставок остается ключевым фактором, сдерживающим ускорение серийного производства.
Значение технологии
Иммерсионная DUV-литография остается одной из самых сложных технологий в полупроводниковой индустрии. Такие установки позволяют работать с техпроцессом около 28 нм за один цикл экспозиции. Применение технологии многократной экспозиции (multiple patterning) позволяет достичь уровня примерно 7 нм.
Китай форсирует создание своего оборудования на фоне жестких ограничений со стороны США. Сейчас в Конгрессе США обсуждается законопроект MATCH Act, который может полностью запретить нидерландской ASML не только продавать новые DUV-системы в КНР, но и заниматься обслуживанием ранее проданного оборудования. Если законопроект будет принят, компании вроде SMIC, Hua Hong и CXMT окажутся под серьезным ударом, что делает собственное производство литографов вопросом технологического суверенитета.
