Группа компаний «Элемент» приступила к подготовке инфраструктуры для монтажа первой в России промышленной установки алюминиевой металлизации, работающей методом вакуумного напыления. Для обеспечения полноценной работы оборудования в Зеленограде начали строительство специализированной «чистой комнаты» и сопутствующего комплекса инженерных систем, отвечающих строгим стандартам микроэлектронного производства.
Проектные работы доверены компании «Системные решения», которая выиграла конкурс, объявленный НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ). Сумма контракта составила 21 млн рублей. Будущий испытательный центр займет площадь около 350 м². Параллельно Минпромторг курирует создание самого оборудования: на 2026 год в рамках профильной программы на эти цели выделено порядка 2 млрд рублей.
Главная цель проекта — разработка отечественного аналога систем от мировых лидеров, таких как Applied Materials и Evatec. Ожидается, что установка позволит выпускать микросхемы с топологическими нормами 180–90 нанометров на пластинах диаметром 200 мм без привлечения зарубежных решений. Технологический процесс включает нанесение слоев алюминия, титана и нитрида титана, которые необходимы для формирования проводящих дорожек и защитных покрытий.
Для корректного функционирования установки требуется строго контролируемая среда. Проектом предусмотрено разделение на функциональные зоны: участок для нанесения металлизации, измерительный блок и помещения для обеспечения работы инженерных систем. Основная рабочая площадка должна строго соответствовать классу чистоты ISO 6, а вспомогательные помещения — классу ISO 8.
Внутри помещений будут поддерживаться предельно жесткие параметры микроклимата: многоступенчатая фильтрация воздуха до частиц размером 0,3 микрона, поддержание температуры на уровне +22 ±2 °C при влажности около 50%. Также критически важным условием является виброизоляция — уровень вибраций не должен превышать 6 мкм/с. Проектировщики также закладывают системы резервного электропитания, подачу сверхчистых газов, мощные контуры охлаждения и защиту от электромагнитных помех.
Отраслевые эксперты подчеркивают, что создание подобных чистых помещений — это одна из наиболее капиталоемких и сложных задач для отечественной микроэлектроники. Несмотря на развитие собственных компетенций, значительную долю компонентов для инженерных систем до сих пор приходится закупать в Китае, так как прямые поставки из США и Европы остаются недоступными.
Строительство чистой комнаты является частью масштабной работы по созданию восьмимодульной установки вакуумного напыления, оснащенной двумя высокоточными роботами-манипуляторами для обработки кремниевых пластин. Финальный этап разработки запланирован на сентябрь 2030 года.
