Институт производственных технологий LG (LG PRI) официально начал коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (LDI). Первыми покупателями новинки стали внутреннее подразделение LG Innotek и один неназванный зарубежный производитель печатных плат.
Стоимость одной такой литографической установки составляет примерно 2 млн долларов. В компании отмечают, что, несмотря на недавний запуск системы в серийное производство, уже ведутся переговоры с рядом новых клиентов о поставках и реализации совместных проектов.
Ключевые преимущества: отказ от фотошаблонов
Главная техническая особенность решения LG — полный отказ от использования традиционных фотошаблонов. Вместо них рисунок формируется непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему прямо на поверхность заготовки. Подобный подход кардинально меняет процесс производства: он позволяет значительно сократить время подготовки, упрощает внесение оперативных изменений в конструкцию изделий и заметно снижает общие производственные затраты, что особенно важно при выпуске малых партий продукции.
Точность и возможности системы
Согласно техническим данным LG, система способна формировать элементы с минимальным размером от 1,5 до 3 микрометров. Для достижения таких показателей оборудование оснащено фирменной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation). Система в режиме реального времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала в процессе экспонирования, что позволяет успешно работать с крупными подложками размером до 600 × 600 мм.
Новая установка ориентирована на создание современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она универсальна: поддерживает работу как с традиционными печатными платами, так и с кремниевыми пластинами или перспективными стеклянными подложками. В LG рассчитывают, что оборудование будет востребовано при производстве современных решений для продвинутой упаковки микросхем, в том числе технологий FoCoS и CoPoS.
