Японская корпорация Nikon намерена вернуть утраченные позиции на рынке оборудования для литографии. Компания планирует предложить производителям полупроводников системы на основе фторида аргона (ArF), которые будут стоить значительно дешевле решений рыночного лидера — ASML. Об этом в интервью изданию Nikkei Asia сообщил Ясухиро Омура, вступивший в должность президента и генерального директора Nikon в апреле.
По словам Омуры, сейчас Nikon ведет активные переговоры с рядом крупных чипмейкеров из США и Азии. Обсуждения поставок новых ArF-систем близки к стадии подписания контрактов.
Ценовая стратегия и конкуренция с ASML
Nikon делает ставку на ценовую конкуренцию в сегменте, где у нидерландской ASML нет абсолютной монополии. В области оборудования для экстремального ультрафиолета (EUV), используемого для создания самых передовых техпроцессов, доминирует ASML, тогда как Nikon прекратила разработки в этом направлении еще в 2008 году. Однако в сфере глубокого ультрафиолета (DUV) ситуация иная.
Иммерсионная ArF-литография относится к категории зрелых DUV-технологий, но остается критически важной. Даже при выпуске современных 3-нм чипов большая часть операций по формированию топологического рисунка выполняется на ArF-сканерах. Учитывая, что стоимость продвинутых систем ASML достигает 82,5 млн долларов за единицу, предложение Nikon выглядит привлекательно.
«Мы производим многие компоненты самостоятельно на собственных мощностях, что дает нам весомое преимущество в ценовой конкуренции», — отметил Ясухиро Омура.
Перспективы и вызовы
На сегодняшний день Nikon и ASML остаются единственными в мире производителями литографических систем ArF. Спрос на данное оборудование растет на фоне бума ИИ, который создал колоссальную нагрузку на производственные мощности. Для сравнения: только за 2025 год компания ASML поставила на рынок 48 систем EUV и 131 иммерсионную установку DUV.
Глава Nikon уверен, что чипмейкеры заинтересованы в диверсификации цепочек поставок, чтобы снизить зависимость от одного монополиста и ограничить рост цен на оборудование. Тем не менее, возвращение доли рынка потребует серьезных усилий, учитывая, что в последние годы объемы поставок ArF-систем у Nikon упали, а прошедший финансовый год компания завершила с чистым убытком в 86 млрд иен (около 540 млн долларов).
Планы на будущее
Для оздоровления бизнеса Ясухиро Омура планирует сосредоточиться на двух ключевых направлениях: производстве потребительских камер и оборудования для выпуска микросхем. Важнейшей вехой станет запуск новой иммерсионной ArF-платформы, запланированный на 2028 финансовый год. Установка получит усовершенствованную оптику, модернизированный стол для пластин и будет полностью совместима с инфраструктурой, уже внедренной у клиентов для работы с инструментами ASML.
