Минпромторг запустил два масштабных проекта по импортозамещению оборудования для эпитаксии — критически важной технологии выращивания полупроводниковых слоев кремния, кремний-германия и соединений на основе индия, алюминия, галлия и арсенида. Как выяснил CNews, отечественные разработки призваны заменить зарубежные установки американской компании Veeco, французской Riber и нидерландской ASM, прямые поставки которых в Россию полностью заблокированы санкциями.
Изображение сгенерировано Gemini
На первый проект под названием «Эпитаксия-SiGe» ведомство выделило 463,7 млн рублей. Инициатива предполагает создание современной промышленной установки для выращивания слоев кремний-германия на кремниевых пластинах диаметром 200 мм с использованием метода газофазной эпитаксии. Данное устройство должно стать прямым технологическим аналогом нидерландской системы ASM Epsilon 2000. Согласно официальному техническому заданию, исполнитель обязан спроектировать и изготовить надежный реактор, специализированный робот-загрузчик пластин, а также модуль предэпитаксиальной очистки поверхности. Все опытно-конструкторские работы должны быть полностью завершены к июню 2029 года.
Второй проект, получивший шифр «Цитадель», получил гораздо более солидное финансирование — на него выделено 1,5 млрд рублей. Речь идет о создании передовой установки молекулярно-лучевой эпитаксии, которая необходима для получения сложных гетероструктур на основе соединений индия, алюминия, галлия и арсенида. Эта перспективная отечественная система призвана заменить импортное оборудование марок Riber 49 из Франции и американскую Veeco GEN200. Завершение всего комплекса работ по данному направлению намечено на октябрь 2030 года.
В условиях жестких ограничений в обоих проектах отдельно прописано жесткое требование по максимальному использованию отечественных компонентов. Абсолютно все критические узлы и агрегаты — включая вакуумные камеры и насосы, молекулярные источники, запорно-вакуумную арматуру, управляющие контроллеры и специализированное программное обеспечение — должны быть исключительно российского производства. Применение любых иностранных деталей допускается лишь в исключительных случаях и исключительно после предварительного официального согласования с Минпромторгом.
