Российские научно-исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в состав группы компаний «Элемент», приступили к реализации амбициозного проекта. Они создают первую в стране 8-модульную кластерную установку, предназначенную для нанесения алюминиевой металлизации методом вакуумного магнетронного напыления. Это оборудование позволит наладить выпуск интегральных микросхем с топологическими нормами от 180 до 90 нм на полупроводниковых пластинах диаметром 200 мм.
Иллюстрация: ГК «Элемент»
Проект является частью федеральной программы «Развитие электронного машиностроения до 2030 года» и проходит при активной поддержке Минпромторга России. Согласно текущим планам, все опытно-конструкторские работы должны быть полностью завершены в сентябре 2030 года.
Преимущества и конструктивные особенности
Разработчики подчеркивают, что ключевой особенностью комплекса стала уникальная конфигурация транспортной системы. Она включает в себя два распределительных модуля и специализированную буферную камеру, что гарантирует поддержание высокого уровня вакуума и, как следствие, высокое качество наносимых пленок.
Производительность системы обеспечивается двумя встроенными роботами-манипуляторами. Благодаря модульному принципу построения, конфигурацию установки можно гибко адаптировать или модернизировать под новые производственные задачи. Кроме того, дублирование технологических модулей позволяет проводить техническое обслуживание отдельных узлов без остановки всего процесса.
Распределение задач и перспективы
В рамках сотрудничества зоны ответственности распределены следующим образом:
- НИИТМ: занимается разработкой полной конструкторской документации, созданием опытных макетов и проведением комплексных испытаний.
- НИИМЭ: отвечает за формирование строгих технических требований и проведение технологического тестирования оборудования.
Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов отметил, что подобная установка будет востребована не только российскими предприятиями, но и зарубежными заказчиками. В свою очередь, генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков добавил:
Создание отечественной кластерной установки для магнетронного нанесения слоев алюминиевой металлизации, отвечающей текущим стандартам индустрии, станет важной составляющей развития микроэлектроники в России. Разработка кластерного оборудования с восемью технологическими модулями — это новый вызов, который требует решения ряда комплексных научно-технических задач.
