Немецкая компания Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) официально запустила первое новое производственное здание на своей площадке в Оберкохене. Строительство этого объекта стартовало в 2022 году, и его запуск имеет стратегическое значение для партнера компании — ASML. Именно мощности Zeiss по производству высокоточной оптики сегодня выступают ключевым сдерживающим фактором в наращивании объемов выпуска EUV-сканеров, критически важных для современной микроэлектроники.
Согласно годовому отчету ASML за 2025 год, подразделение Carl Zeiss SMT является эксклюзивным поставщиком линз, зеркал, систем освещения, коллекторов и других высокотехнологичных оптических компонентов для EUV-литографии. ASML подчеркивает, что любой серьезный сбой на мощностях Zeiss приведет к полной остановке производства литографических систем. В связи с этим финансовые показатели сотрудничества компаний демонстрируют уверенный рост: закупки ASML у Zeiss SMT и её дочерних структур увеличились с 3,33 млрд евро в 2023 году до 4,41 млрд евро по итогам 2025 года.
Планы ASML и узкие места производства
Масштабное расширение производственных линий обусловлено амбициозными планами ASML. Финансовый директор компании Роджер Дассен отметил, что портфель заказов на системы Low-NA EUV на 2027 год уже фактически сформирован. ASML намерена нарастить выпуск сканеров примерно на 30% относительно показателей текущего года (65 установок), одновременно сокращая цикл сборки каждой машины с 22 до 15–16 недель. В дополнение к этому обсуждается дальнейшее увеличение производственных мощностей в 2028 году.
Однако аналитики предупреждают, что ввод новых площадей Zeiss не приведет к мгновенному скачку объемов продукции. Производство компонентов для систем High-NA EUV остается крайне сложным технологическим процессом:
- Проекционная система включает более 40 000 деталей и имеет массу около 12 тонн.
- Система освещения состоит из 25 000 компонентов.
- Производство отдельных зеркал занимает месяцы, после чего каждый элемент проходит проверку в специализированной вакуумной камере (размером 5 × 10 метров), которая сама по себе весит свыше 150 тонн и состоит из 100 000 деталей.
Инвестиции в независимость
Стратегическая важность партнерства подкрепляется значительными финансовыми вливаниями. К концу 2025 года объем займов, предоставленных ASML компании Zeiss SMT, достиг 1,91 млрд евро, а авансовые платежи за будущие оптические колонны составили 1,19 млрд евро. Само подразделение Zeiss SMT по итогам финансового года, закрытого 30 сентября 2025 года, увеличило выручку на 23%, достигнув отметки в 5,055 млрд евро.
Помимо запуска площадки в Оберкохене, компания активно развивает другие направления: ведется строительство нового завода в Вецларе, расширяются площади «чистых комнат» в Росдорфе, а также уже начал функционировать инновационный центр в Южной Корее. Эти шаги призваны обеспечить стабильность поставок для мирового рынка полупроводников, где китайское оборудование класса DUV для производства чипов пока значительно уступает технологиям ASML.
